LineWorks SEC

带 Fault Detection and Classification (FDC) 的统计设备控制。

与先进的 SPC 相辅相成的可靠故障检测工具

LineWorks SEC 是 LineWorks SPACE 的一个附加模块,用于实时跟踪监控和 Fault Detection and Classification (FDC) 。该功能是统计设备控制(Statistical Equipment Control)的核心,使制造商能够在几秒钟内捕获并分析来自单个晶圆、批次或整个生产批次的工艺数据。该功能全天候连续运行,可监控生产设备的统计数据,及早发现异常,并有助于在问题升级前采取预防措施。

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将设备数据挑战转化为可靠的 FDC


有效的 Fault Detection and Classification (FDC)不仅需要捕获海量的工艺数据,还需对这些数据进行实时分析。每个生产步骤都会产生大量数据点,而真正的挑战在于如何分析并关联这些数据,以准确识别缺陷。

LineWorks SEC 提供以下功能:

  • 实时收集、监控和处理跟踪参数 (设备数据)。
  • 在数秒内进行数据审查和分析。
  • 有效的数据存储跟踪方法。
LineWorks SEC

实时采集和分析设备数据

利用 LineWorks SEC,制造商可以快速灵活地采集和管理生产数据。设备数据可以实时流式传输,每秒的每个数据点都会被缓冲成连续的跟踪数据,或者在工艺运行完成后全部收集起来。这就实现了快速实时监控、即时分析和安全存储完整的过程跟踪,使制造商能够快速响应并保持稳定的质量。

LineWorks SEC

实时采集和分析设备数据

利用 LineWorks SEC,制造商可以快速灵活地采集和管理生产数据。设备数据可以实时流式传输,每秒的每个数据点都会被缓冲成连续的跟踪数据,或者在工艺运行完成后全部收集起来。这就实现了快速实时监控、即时分析和安全存储完整的过程跟踪,使制造商能够快速响应并保持稳定的质量。

LineWorks SEC 架构图

LineWorks SEC 主要功能

LineWorks SEC 允许用户在收集数据时实时串流数据,无缝更新动态可视化仪表盘。随着新数据的到来,平台会自动刷新交互式图表,这样用户就可以实时监控跟踪和违规情况,而无需手动刷新。


轨迹比对变得简单

使用叠加模式或堆栈视图直观地比较跟踪数据。这样就能轻松发现不同运行之间的偏差、相似性或趋势。

实时监控和警报

在数据采集过程中及时发现违规行为。LineWorks SEC 可通过警报、弹出式窗口和内置报警系统立即通知用户,从而在流程偏差升级之前对其做出快速反应。

保护带可视化

清楚地看到每个轨迹的保护带 (限值),帮助你识别过程值何时接近临界阈值。

灵活的数据处理

通过强大的拼接功能,可将多个样本的数据采集合并在一起,从而更方便地将完整的运行作为一个单一的轨迹来查看。LineWorks SEC 还支持图表步骤可视化,并提供每个传感器的计算值,以便深入了解情况。

实时数据流

用户可以 在浏览器中实时流式传输和可视化流程 数据收集。这样就能在生产运行过程中获得即时反馈,从而支持更快的决策和持续的流程改进。


数据收集方法

LineWorks SEC 提供灵活的数据采集选项,旨在支持各种后端处理设备。这些数据收集方法包括

  • LineWorks ECoFrame 集成,实现无缝连接。
  • 文件输入支持(可根据要求提供)。

除了这些标准选项外,LineWorks SEC 还在项目层面提供灵活性。可使用 Open Platform Communications (OPC) 或 RJG 软件开发定制的数据采集工具,确保即使是专用设备也能顺利集成。

数据收集方法

LineWorks SEC 提供灵活的数据采集选项,旨在支持各种后端处理设备。这些数据收集方法包括

  • LineWorks ECoFrame 集成,实现无缝连接。
  • 文件输入支持(可根据要求提供)。

除了这些标准选项外,LineWorks SEC 还在项目层面提供灵活性。可使用 Open Platform Communications (OPC) 或 RJG 软件开发定制的数据采集工具,确保即使是专用设备也能顺利集成。

LineWorks SEC 的屏幕截图
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