制程稳定与管控
于数百个紧密相连步骤中维持制程参数一致性,至关重要,于先进光刻与蚀刻制程而言更是如此,其协助防止制程变异并减少产能良率损失。
晶圆制造过程中,即使最微小制程偏差,亦可能危及产能良率与法规遵循。 管理复杂制程步骤、数以千计制程配方与庞大数据信息量,需系统化执行流程,将设定错误与生产变异降至最低。 camLine 客制化 MES 解决方案,强化制程管控、提供深入即时洞察,确保完整追溯,实现一次到位结果,促进灵活应变,巩固业界持续领导地位。
主要挑战
于数百个紧密相连步骤中维持制程参数一致性,至关重要,于先进光刻与蚀刻制程而言更是如此,其协助防止制程变异并减少产能良率损失。
随芯片设计推进至愈发微小制程节点,即使些微差异或污染皆可能导致缺陷产生或代价高昂之重工成本。 快速检测与即时反馈对维持质量标准,具有不可或缺之关键作用。
于多工具与批次间管理数以千计配方与参数,易增加设定错误、数据孤岛及生产变异之风险。
海量制程与机台设备数据信息必须经过整合并确保可存取,以支持迅速找出根本原因,符合法规要求,持续性改善。
为因应市场显著成长与瞬息万变技术需求,须仰赖具备适应性之灵活系统,以加速变革能力同时兼顾质量与产能良率。
服务方案
服务范畴
通过全方位半导体前端制造执行系统(MES)解决方案,协助全球晶圆厂实现无缝技术转型,确保各厂区制程质量一致。
提供即时监测与制程管控,符合严格质量要求与交期目标。 camLine MES 软件提供灵活弹性之制程配方管理功能,实现精准敏捷生产。
支持广泛产品类型,因应频繁变更。通过提供完整追溯性与可视性,为类比、微机电系统(MEMS)及功率元件生产提供高度灵活控管与制程配方管理。
制程配方定义半导体生产设备所有参数设置与操作序列,但集中统一管理制程配方却是一项艰巨挑战。 「Work Smarter」视频中,您将了解 camLine 制程配方管理解决方案如何通过标准化配方管理工作流程,运用数字孪生技术,优化可视性,进而改善制程完整。
以客户为中心的咨询服务,致力于半导体制造效率与质量至高水准。 凭借久经考验之专业能力,提供最佳解决方案,确保项目顺利执行。 camLine 软件解决方案开箱即用功能与卓越稳定性,为您的成功提供强力后盾。
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深受全球各地超过 350 家高科技产业客户信赖。
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模块化 MES 系统具备弹性模组,可分步布署,并随运营规模扩大而扩展。
专为太阳能、电池、半导体及医疗器材等不同产业,量身打造之 MES/MOM 解决方案。
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