- 理解并应用 XperiDesk 开发方法论的基础原则。
- 学会预测工艺步骤和变异性对良率及可制造性的影响。
- 评估诸如新光罩设计等变更对先前开发工艺的影响。
课程概述
本课程旨在帮助学员理解 XperiDesk开发 方法论的基础并掌握其应用。 参与者将学习如何预测特定工艺步骤及其变异性对整体良率和可制造性的影响。 参与者还将评估新型掩模设计可能对先前开发的工艺结果产生何种影响,同时综合考虑器件设计与工艺工程的关键方面。 此外,本课程还将介绍如何有效利用 XperiDesk 进行活动追踪与溯源。
本课程面向:希望深入了解 XperiDesk 系统在协作式数字工艺工程方面的方法和功能的实验室人员、工程师和科学家。
先决条件
- 熟悉 XperiDesk 基础知识,包括已完成所有 XperiDesk 基础操作视频。
- 具备 XperiDesk 基本操作的实践经验,例如导航和操作 GUI 以及查找、打开、锁定和保存项目。
- 课程期间可访问 CMC XperiDesk 培训系统。
- 为获得最佳课程体验,建议使用双显示器。
培训方法
- 本课程包括讲座、特定场景的模拟、现实应用案例的讨论以及动手练习。
- 模拟和实践练习可在笔记本电脑上独立完成,为学员提供灵活且互动的学习体验。
课程目标
- 将器件设计的关键要素与工艺工程相结合,以获得更佳的效果。
- 熟练使用 XperiDesk for Tracking & Tracing,以系统化管理和分析实验数据。
课程内容
内容
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- 一窥XperiDesk方法论的基础
- 了解 XperiDesk 流程工程方法论
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- 学习开发新材料和工艺步骤
- 利用抽象工艺流程设计从零开始构建制造流程
- 确定选择专用工艺步骤的关键考量因素,以明确抽象工艺流程(例如:预先存在的地形)
- 学习如何对现有工艺流程进行迭代优化
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- 利用实验设计 DoEs 来理解和验证工艺行为
- 利用XperiDesk评估可制造性,以提升工艺流程的晶圆厂就绪度
- 理解仿真器的实用价值,用于直观传达设计意图(例如 SoftMEMS)并预测工艺成功率
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- 执行手动/电子追踪 & 实验追踪
- 理解为何以及如何系统、全面地收集实验信息
- 建立自动收集机制,并将数据整理为信息
- 检索 & 分析数据与信息
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常见问题
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