iCADA Suite

在 Machine Management Solution (LineWorks MMS) 的支持下，确保高效的网纹检测、维修与存储利用，并实现全生命周期的可追溯性与维护控制。

利用 Carrier Management Solution (LineWorks CarMa) 优化网罩和载体的处理与跟踪，确保安全运输和存储。

通过 Advanced Monitoring and Reporting Tools (LineWorks FACE) 获得可操作的洞察力和实时仪表板，从而在网罩管理方面做出数据驱动的决策。

通过 Recipe Management Solution (LineWorks RM) 管理配方和生产资源，并根据配方维护设备设置，以确保光栅的正确使用并与光刻工具集成。

Through the automated verification and communication capabilities provided by the Supplier Quality Management Solution (LineWorks SQM), coordinate with the mask workshop to ensure the quality of incoming photomasks.

控制材料流并跟踪网罩的运输方式，了解材料的来源和去向，确保与下一代 Material Control System (RACE MCS™) 在车间进行实时协调，从而支持无缝的网罩调度和交付。