iCADA Suite

耐用件全生命周期的智能管控与分析平台。

先进耐用件、光罩及探针卡管理的全面解决方案

iCADA Suite 提供先进的耐用件(Durables)、光罩(Reticles)及探针卡(Probe Cards)全生命周期管理解决方案,覆盖从使用、存储、检测到维护的各个阶段。该方案以提升资产利用率为核心,通过系统性降低生产风险、稳定制造良率,助力企业达成运营效能跃升。​

同时借助实时追踪、流程优化与集中管控提升关键资产管理效率,有效延长其使用寿命,为半导体企业构建可靠、透明、高效的管理方式。

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我们已赢得众多行业头部客户的信赖


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半导体制造中的光罩管理


光罩是半导体光刻工艺中用于将电路图案转移至晶圆上的关键掩模材料。由于光罩在生产过程中扮演着重要角色,且成本高昂,有效的光罩管理对于维持晶圆厂的生产质量与良率至关重要。

光罩管理面临的主要挑战:

  • 防止在搬运与存储过程中发生污染、缺陷和损坏。​
  • 通过定期检测与清洁,管理光罩因重复使用产生的磨损。​
  • 确保光罩正确使用与追踪,避免生产错误。​
  • 通过高效的光罩追踪与维护,降低运营成本。

实现智能控制、分析与耐用件管理的模块化解决方案

iCADA Suite 覆盖关键生产资产从追踪、检测、验证到维护的全生命周期管理,保障半导体晶圆厂的稳定运行与过程受控。​

凭借模块化架构,iCADA Suite 能够根据制造企业的生产需求灵活调整与扩展。其解决方案可轻松集成至现有生产环境中,支持企业持续优化运营,并满足长期发展的需求。


iCADA RTCL


光罩生命周期管理

光罩全生命周期管理系统,确保有效控制雾化(Haze)现象并防止晶体生长,从而维持光罩质量与生产可靠性。

iCADA INSP


光罩检测管理

集中管理来自多个检测设备与数据来源的光罩检测结果,实现统一查看、分析与追踪。 iCADA INSP 作为 iCADA RTCL 的扩展模块,进一步提升了光罩状态监控与质量管理能力。

iCADA PCRD


探针卡管理

提供集中化的探针卡及组件管理解决方案,支持高效的维护流程与稳定运行,帮助制造企业提升探针卡使用效率并优化生产运营。

iCADA DRBL


耐用件管理

提供所有耐用件的完整生命周期管理,确保关键生产资产得到最佳利用与有效维护,提升设备运行效率并延长使用寿命。


iCADA Suite

核心能力总结

  • 端到端可追溯性​
  • 自动化检测与分析​
  • 智能维护规划​
  • 光罩供应商连接(MaVen)​
  • 无缝系统集成​
  • 可配置的工作流程与业务规则​
  • 通过优化光罩利用率实现成本控制

加强光罩管理的集成解决方案


借助 iCADA Suite,半导体制造企业可获得光罩全生命周期管理(Reticle Lifecycle Management, RLM)解决方案。如今,iCADA 已成为科铨解决方案体系的一部分,并通过与 科铨其它解决方案的无缝连接进一步扩展其能力,实现光罩、探针卡及耐用件管理的全面集成与自动化工作流程。

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  • 依托 LineWorks RM 配方管理方案,集中管控配方与生产资源,并根据配方要求维护设备设置,保障光罩的正确使用及其与光刻设备的无缝集成。

  • 通过 LineWorks SQM 供应商质量管理方案的支持,与光罩供应商(Mask Shops)建立自动化验证与沟通机制,从源头把控来料质量,实现高效协同。

  • 借助新一代 RACE MCS™ 物料控制系统,实时调度物料流动并透明追踪光罩运输路径,实现晶圆厂现场实时协同,确保光罩派送与交付的顺畅无误。

camLine
全球领先的 MES/MOM 解决方案供应商

光罩、探针卡及耐用品的有效管理,是保障生产良率与产品质量的关键。任何细微的管理偏差,都可能造成高昂的生产风险。借助 iCADA Suite,您可获得全面的管控能力与可视化洞察,提前识别风险并领先应对挑战。

行业应用

推进晶圆制造中的过程控制与追溯管理

管理复杂的工艺流程、数千种配方以及海量数据,需要结构化的执行方式,以减少设置错误并降低生产波动。camLine 定制化 MES 解决方案助力提升过程控制能力,提供实时洞察,并实现全面追溯,从而确保首次即正确(First-Time-Right)的生产结果、灵活应对变化,并持续保持行业领先优势。

与 camLine 专家探讨解决方案

我们的团队已准备好为您提供量身定制的 MES 解决方案,优化生产流程、提升产品质量,并最大化运营效率。借助 camLine 在数字化转型领域数十年的专业经验,助您克服制造挑战,实现更卓越的生产运营。