iCADA 套件

耐用品确保之智能控制与分析

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先进耐用品、光掩模与探针卡管理全方位解决方案

iCADA 套件提供先进解决方案，管理产品生命周期各阶段耐用品、光掩模及探针卡。 从使用、储存、检查到维护，协助优化物料利用率、降低风险，并确保生产质量。 凭借即时追踪、简化工作流程及集中化存取功能，iCADA Suite 大幅提升效率，有效延长半导体制程关键资产使用寿命。

基于 iCADA Suite 开发之产品
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深受全球顶尖制造商信赖

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半导体制造光掩模管理

倍缩光掩模为微影制程中不可或缺关键光掩模，专用于将电路图案转印至硅晶圆。 鉴于其关键作用与高昂成本，有效光掩模管理对维持半导体晶圆厂生产质量与产能良率至关重要。

光掩模管理主要挑战：

  • 搬运与储存过程中防止污染、缺陷与损坏。
  • 定期检查与清洁，管理因反复使用而造成之光掩模磨损。
  • 确保光掩模正确使用与追踪，避免生产错误。
  • 高效光掩模追踪与维护以降低成本。

智能控制分析与耐用资产管理之模块化解决方案

iCADA 套件涵盖核心资产完整生命周期，包括追踪、检验、验证与维护，确保半导体晶圆厂运作最佳化与严谨制程管控。 其模块化设计赋予制造商根据生产需求进行调整与扩展，相关解决方案既能轻松整合至既有环境，更能支持长远业务成长。

iCADA RTCL

光掩模生命周期管理

全面落实光掩模生命周期管理，确保雾化控制并防止晶体生成。

iCADA INSP

光掩模检测管理

汇总与分析来自多机台设备与多来源之光掩模检测结果的集中化系统。 此为 iCADA RTCL 扩充模块。

iCADA PCRD

探针卡管理

管理探针卡与组件之集中式解决方案，支持高效维护与运营。

iCADA DRBL

耐用品管理

所有耐用品完整生命周期管理，确保最佳使用与维护。

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iCADA 套件

功能亮点

  • 端到端全面可追溯性
  • 自动化检测与分析
  • 智能维护规划
  • 光掩模供应商连线 (MaVen)
  • 无缝整合
  • 可设置工作流程与商务规则
  • 成本控管之最佳化光掩模利用
下载 iCADA Suite 产品规格书

强化光掩模管理整合式解决方案

善用 iCADA Suite，半导体制造商得以落实全方位光掩模生命周期管理（RLM）。 iCADA 现已成为 camLine 的一员，通过无缝整合 camLine 解决方案，协助您逐步扩展所需功能，为光掩模、探针卡及耐用品管理，打造全面整合与自动化工作流程。

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  • 机台设备管理解决方案（LineWorks MMS），确保光掩模检测、维修与储存高效利用，具备完整生命周期追溯与维护管控 。

  • 载具管理解决方案 （LineWorks CarMa），优化掩模盒与载具处理追踪流程，确保运输与储存安全性。

  • 运用先进监控与报表工具（LineWorks FACE），于光掩模管理中落实数据驱动决策。

  • 运用先进制程配方管理解决方案（LineWorks RM），管理制程配方与生产资源，并依据配方维护机台设备设置，确保光掩模正确使用且无缝整合微影机台设备。

  • 善用供应商质量管理解决方案 （LineWorks SQM），与光掩模供应商合作，通过自动验证及沟通机制，确保进厂光掩模质量。

  • 通过新一代物料控制系统(RACE MCS™)掌控物料流，并追踪光掩模运输路径，精确掌握其来源和去向，确保生产车间实时协调，支持无缝光掩模派发与交付。

camLine
全球领先 MES/MOM 解决方案供应商

妥善管理光掩模、探针卡及耐用品，对确保产能良率与质量至关重要。 微小失误或差错皆可导致代价高昂生产问题。 导入 iCADA Suite，即可拥有保持领先之全局洞察能见度。

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供应商质量与合作产业

优化晶圆制造制程管控与可追溯性

管理复杂制程步骤、数以千计制程配方与庞大数据量，需系统化执行流程，将设定错误与生产变异降至最低。 camLine 客制化 MES 解决方案，强化制程控制能力、提供即时洞察，确保完整追溯性，进而落实一次到位成果、灵活适应能力，以及业界持续领先地位。

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我们的团队随时准备好为您提供量身打造之制造执行系统（MES）解决方案，协助您优化生产流程、提升产品质量，最大化整体运营效率。 善用 camLine 于数字化转型领域数十年专业经验，协助克服您的制造挑战。

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