LineWorks FDC—实时轨迹监测与故障检测及分类（FDC）

您值得信赖的故障检测工具，可与您先进的SPC系统相辅相成

LineWorks FDC 专为实时轨迹监控以及故障检测与分类（FDC）而设计。该系统使制造商能够在几秒钟内捕获并分析工艺数据，无论这些数据来自单个晶圆、一个批次还是整个生产批次。该系统全天候不间断运行，实时监控生产设备的统计数据，及早发现异常，并帮助在问题恶化前加以预防。

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FDC 系统不仅能够采集海量的过程数据，还能对这些数据进行实时分析。由于每个生产环节都会产生海量数据点，真正的挑战在于分析和关联这些数据，从而准确识别缺陷。

该系统通过提供以下功能来实现其工作原理：

LineWorks FDC

借助 LineWorks FDC，制造商能够快速、灵活地采集和管理生产数据。 设备数据可实时传输，每秒的每个数据点既可缓存为连续的轨迹，也可在工艺运行完成后一次性完整采集。这使得快速实时监控、即时分析以及完整工艺轨迹的安全存储成为可能，从而使制造商能够迅速做出响应并保持稳定的质量。

LineWorks FDC 允许用户在数据采集的同时进行实时流式传输，并无缝更新动态可视化仪表盘。随着新数据的到来，该平台会自动刷新交互式图表，使用户无需手动刷新即可实时监控追踪和违规情况。

使用叠加模式或堆栈视图直观地比较跟踪数据。这使得我们能够轻松发现不同运行结果之间的偏差、相似之处或趋势。

在数据收集过程中，要及时掌握违规情况。系统将通过警报、弹出窗口和内置报警系统立即通知用户, 以便在工艺偏差升级之前迅速作出响应。

清晰显示每条波形曲线的保护带（限值），帮助您识别工艺参数何时接近临界阈值。

借助强大的拼接功能，将不同样本中的多个数据集合并，从而更方便地将完整的实验结果作为单条曲线进行查看。它还支持图表步进可视化，并提供每个传感器的计算值，以便获得更深入的洞察。

用户可以在 浏览器中实时流式传输并可视化工艺数据采集结果。这使得在生产过程中能够获得即时反馈，从而支持更快地做出决策并实现持续的流程改进。

LineWorks FDC 提供了灵活的数据采集方案，旨在支持各种后端处理设备。这些数据收集方法包括：

除了这些标准选项外，系统还在项目层面提供了灵活性。可以使用开放平台通信（OPC）或RJG软件开发定制的数据采集工具，从而确保即使是专用设备也能顺利集成。

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