概览
在半导体与电子制造领域，随着产品日益微型化、容差日益严格，以及设备产生的数据量不断增加，工艺的复杂性持续攀升。
传统的质量测量方法依然不可或缺，但这些方法往往只能在工艺完成后才提供可视性。 新兴的设备问题、工艺漂移及异常操作状况，可能在影响产品质量、产量或產能之前，始终未被察觉。
及早检测流程问题。 提升制造稳定性。
现代制造设备会产生海量的工艺与设备数据，然而许多制造商仍依赖最终检验、计量或良率指标来检测问题。 到那时，原料可能已经加工，设备性能可能已经产生偏移，且宝贵的生产时间也已白消耗。
故障检测与分类(FDC) 系统能持续监控生产过程中的设备与工艺行为，协助制造商更早检测异常情况、更快查明问题根源，并维持稳定的运营。
我们致力于协助您实现制造卓越。
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为何故障检测与分类在制造业中至关重要
常见的挑战
制造商通常会面临以下挑战：
- 随时间逐渐发生的工艺漂移
- 不同设备、腔室或生产线间的设备行为存在差异
- 在被检测前便已影响多个批次的制造偏差
釐清根本原因所需的调查周期过长 - 对工艺执行期间的行为可视性有限
- 设备数据量日益庞大，难以通过人工分析
若无法及时掌握这些状况，企业将面临废品率上升、返工增加、停机时间延长以及产出变异性加剧的风险。
FDC 在半导体与电子制造中的常见应用
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提前识别设备或工艺性能的逐渐变化，以便在产品质量受到影响之前采取纠正措施。
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实时识别工艺异常行为，限制问题在批次、晶圆、面板或生产批次间的扩散。
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持续监控设备性能，检测可能预示设备问题正在发生的异常操作条件。
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为工程师提供符合情境的工艺信息，有助于缩短调查时间，加快识别影响因素。
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通过监控工艺行为与既定期望进行比较，提高各设备组、反应器及生产线间的一致性。
FDC 的运营优势
提升产品质量
在缺陷传递至下游工艺之前，预先检测可能影响制造结果的状况。
降低制程变异与漂移
通过持续监控与及早介入，维持更稳定的工艺表现。
更早地检测设备与制程问题
在问题演变成更严重的运营事件之前，及早发现潜在问题。
更快速的根本原因分析
为工程师提供可付诸行动的数据及情景信息，以加速调查进程。
提升运营透明度
更深入地了解工艺行为、设备健康状况及生产条件。
提升设备利用率
减少未计划的中断，并维持更稳定的设备性能。
提升制造效率
实现基于数据的工艺控制决策，从而提高生产力并使运营更加可预测。
从洞察到运营改善
FDC通过结构化的决策支持、引导式工作流程以及将工程专业知识与日常制造运营相结合的执行流程，协助组织将制造智慧转化为运营改善。
主要优势
| 效益 | 商业价值 |
| 标准化的应对程序 | 跨团队与跨据点的一致执行 |
| 由专家主导的决策支持 | 更迅速且更可靠的行动 |
| 引导式运营工作流程 | 降低执行变异性 |
| 可追溯的行动与结果 | 提升合规性与透明度 |
| 有据可查的工程知识 | 可持续的组织学习 |
| 持续的运营改善 | 更快的问题解决速度与长期的绩效提升 |
camLine 如何协助 FDC 实现集成的制造智慧
camLine 集成了先进的过程控制、质量保证和设备数据管理功能，以支持复杂制造环境中的 FDC 计划。
LineWorks FDC
解决方案的核心是 LineWorks FDC，提供：
- 实时设备与工艺数据采集
- 轨迹、传感器及工艺数据的监控
- 运行时分析
- 故障分类
- 警报
- 设备与工艺意识
LineWorks SPACE
当洞见转化为行动时，制造智慧便能创造价值。 LineWorks FDC 与 LineWorks SPACE 紧密协作，以扩展制造智慧，并提供：
- 历史工艺数据
- 制造背景
- 质量信息
- 良率信息
- 物料与供应商信息
- 长期分析
- 根本原因调查
LineWorks PULSE
LineWorks PULSE 通过以下方式，提供设备性能的可视化及运营洞察，以辅助 FDC 驱动的监控与决策：
- 设备日志
- 设备事件
- 运营历史记录
- 工程评论
- 设备知识捕获
常见问题
常见问题
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“故障检测与分类”（FDC）是一种制造解决方案，可持续监测生产过程中的设备和工艺行为，以识别异常情况、工艺偏差和与设备相关的问题。 通过分析过程运行中的数据，FDC 帮助制造商更早地检测潜在问题，并在这些问题影响产品质量、良率或吞吐量之前采取矫正措施。
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质量检验和测量评估完成后的制造过程成果。 FDC 专注于监控工艺执行期间的设备和工艺行为。 这让制造商能更早识别异常情况，通常在这种情况通过下游质量测量显现出来之前。
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FDC 可以帮助制造商检测：
- 工艺漂移
- 设备退化
- 传感器异常
- 反应器间的变异
- 参数偏差
- 工艺不稳定
- 制造过程偏离
- 设备异常行为
及早发现支持更快的调查和纠正措施。
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否。 FDC 和 SPC 是互补的解决方案。 FDC 专注于监控个别过程执行中的设备和过程参数，以便在异常情况下即刻识别设备或工艺行为的异常。 SPC 主要利用随着时间累积的工艺和质量测量数据，分析多次生产执行之间的趋势和变异。 FDC 和 SPC 联合提供更全面的过程控制和制造质量方法。
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制造商通常实施 FDC 以达成以下目标：
- 提升产品质量
- 减少过程变异
- 更早识别问题
- 防止制造过程偏离
- 加快根本原因分析
- 提升操作透明度
- 更稳定的生产过程
- 提高设备利用率
- 增加制造效率
具体成果取决于制造环境、过程复杂性和运营目标。
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FDC 在工艺一致性、设备性能和产品质量至关重要的环境中尤为有用，包括：
- 半导体晶圆制造
- 半导体后端和封装操作
- 电子制造
- 电池制造
- 太阳能制造
- 医疗设备生产
- 其他高科技制造业
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现代 FDC 解决方案通常部署为更广泛的制造软件生态系统的一部分，可与 MES、SPC、设备集成、质量管理和制造分析解决方案协同工作。
在 camLine, LineWorks FDC 的应用不局限于设备类型集成。 这使制造商能够利用现有生产和设备数据，同时通过无缝的 FDC 集成提高操作可视性和过程控制能力。
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制造商在遇到以下情况时可能会从 FDC 中受益：
- 频繁的工艺变异
- 产量波动
- 根本原因调查困难
- 日益复杂的设备
- 对工艺行为的了解有限
- 设备数据量不断增加
- 需要更早检测制造问题
FDC 可以帮助企业从被动故障排除过渡到主动制造控制。
camLine
全球领先 MES/MOM 解决方案供应商
我们相信，成功的软件实施不仅需要顶尖技术，还需要真正了解您的业务的人。 我们与行业领导者共同开发的模式，确保解决方案有效应对现实世界的挑战。
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