SmartSPC 解决方案

用于半导体制造过程自动调整的 Run-to-run (R2R) 控制系统。

与我们的专家交流

利用 SmartSPC 实现卓越运营

SmartSPC 是 camLine 的集成式、模块化自动化过程控制系统，专为高科技制造业的运行控制而设计。通过将 LineWorks SPACE 强大的统计过程控制与 LineWorks RM 强大的配方管理系统相结合，SmartSPC 实现了过程调整的自动化，确保了无与伦比的精度和一致性。

探索 SmartSPC 核心组件
联系人
我们将帮助您实现卓越制造。 联系 camLine

全球领先制造商的信赖

徽标_环球晶圆厂
徽标
徽标_XFAB
徽标_Soitec
徽标_AS-20250829-092441 (1)
徽标_skyworks
徽标_nxp
徽标_azur space-20250829-092549 (1)
徽标_微电子公司
徽标_大陆

克服高科技制造中的过程控制挑战

高科技制造业，尤其是半导体等行业，通常依赖于固定的流程配方和传统的统计流程控制。这可能会导致人工干预和被动调整，从而导致响应速度减慢、废品率增加以及生产结果不理想。

要想在制造业中脱颖而出，就必须实现更高的精度和准确度，这就需要更严格的流程控制。因此，利用运行到运行、晶圆到晶圆、晶圆内和实时过程控制策略，自动化过程控制正成为提高性能、产量、吞吐量和灵活性的关键组成部分。

自动流程调整和控制系统

核心组成部分

SmartSPC 通过集成 LineWorks SPACE、LineWorks RM 以及 Advanced Calculation Option (ACO) 和 Recipe Objects (ROBs) 等其他组件，实现工艺调整自动化。利用实时数据和高级计算功能，它可优化工艺参数，实现更快速、更精准的调整。这有助于获得更优的工艺结果、保持稳定的产品质量，并提升产量与效率

SmartSPC Landing Page_graphic_SmartSPC

SmartSPC 架构：核心组件

  • 功能强大的 SPC 工具，用于全面数据收集和高级计算，处理计量、过程和控制器计算数据。

    探索 LineWorks SPACE

  • 实现强大的配方管理，确保工艺完整性和精确的参数控制。

    了解 LineWorks RM

  • LineWorks SPACE 中的一个关键组件，通过 高级数据计算 实现参数优化，从而支持自动化工艺调试。

  • LineWorks RM 的一个关键组件，可实时检索优化参数值，用于配方调整。

  • RM Integration Layer (RIL) 促进了LineWorks RM与LineWorks SPACE 之间稳健、无缝的集成，构成了高效R2R控制环路的骨干。

  • 与过程和测量设备进行实时数据交换的集成点。

3 级流程

SmartSPC 如何实现 R2R 控制自动化

SmartSPC 通过其智能化的 3 级流程提升了 R2R 控制水平，通过使用从以前的运行中收集的数据，大大推进了生产运行之间的自动流程调整。

  • 建模：

    关键的第一步包括定义和设置优化控制所需的关键工艺参数和计算。

  • 实时数据收集：

    利用 LineWorks SPACE 的 ACO，SmartSPC 可收集精确的生产数据，并将其应用于先前定义的模型。

  • 过程反馈：

    对模型的计算结果进行评估，以确定生产结果是否符合预期目标，并在必要时进行调整。

请阅读我们的 SmartSPC 博文中的更多内容
3 级流程

SmartSPC 如何实现 R2R 控制自动化

SmartSPC 通过其智能化的 3 级流程提升了 R2R 控制水平，通过使用从以前的运行中收集的数据，大大推进了生产运行之间的自动流程调整。

  • 建模：

    关键的第一步包括定义和设置优化控制所需的关键工艺参数和计算。

  • 实时数据收集：

    利用 LineWorks SPACE 的 ACO，SmartSPC 可收集精确的生产数据，并将其应用于先前定义的模型。

  • 过程反馈：

    对模型的计算结果进行评估，以确定生产结果是否符合预期目标，并在必要时进行调整。

请阅读我们的 SmartSPC 博文中的更多内容
SmartSPC 着陆页_图形_R2R 控件

利用 SmartSPC 实现流程自动调整的主要优势

 传统的 SPC 主要侧重于手动调整，以减少 out-of-spec (OOS) 或 out-of-control (OOC) 产品和废品，而 SmartSPC 则通过自动实时调整持续推动过程控制，从而实现这一转变。 

精简业务

通过集成的 ACO 和 ROBs 自动调整流程，可确保高效实现最佳生产结果。

优化配方管理

通过 SmartSPC 和 LineWorks RM 集成的可调整参数，可根据实时数据自动进行配方调整。

减少缺陷

最大限度地减少运行之间的工艺漂移和差异，从而降低缺陷率，提高成品率。

提高质量

通过优化工具配方参数，始终满足每一批产品质量的高标准。

增强工艺能力 (Cpk)

通过即时微调和尽量减少变异性来保持工艺稳定性，从而提高 Cpk。

让我们讨论解决方案

与我们的专家交流

camLine_Solution_lets discuss solutions_202510_Internal-20251021-133253

我们的团队随时准备为您提供量身定制的 MES/MOM 解决方案，以简化您的生产流程，提高产品质量，并最大限度地提高您的运营效率。利用 camLine 数十年来在数字化转型方面的专业知识，克服您在制造方面遇到的挑战。

先进的技术能力

SmartSPC 建立在针对现代制造的复杂性而设计的强大架构上，具有无与伦比的灵活性和控制性。

Advanced Calculation Option (ACO)

LineWorks SPACE 的 ACO 高级功能包括

  • 自动制图--根据定义的种群层次结构创建通道，自动绘制计算参数和中间参数图表。
  • 应用 Application Programming Interface (API) 调用，使用群体查找逻辑检索样本。
  • 从 RMS 检索参数值或设备常数。

Recipe Objects (ROBs)

LineWorks RM 的 ROB 提供的主要功能包括

  • 存储自动工艺调整过程中计算使用的工艺参数和设备常数值。
  • 定义 SmartSPC 调整参数和配置，以确定 SmartSPC 如何运行。
  • 唯一匹配相应的 SPC 通道，以实现精确的过程控制。
camLine
全球领先的 MES/MOM 解决方案供应商

SmartSPC 可大大提高制程能力（Cpk），并支持更稳定、高效和可预测的制造性能。

为什么选择 camLine MES/MOM 解决方案

作为您的合作伙伴，我们提供以质量为导向的 MES/MOM 解决方案，将数据转化为高科技行业的竞争优势。

350 多家客户

受到全球 350 多家高科技行业客户的信赖。

服务 40 多个国家

帮助全球 40 多个国家的制造商实现增长和卓越。

35 年以上的经验

提供成熟的制造软件解决方案，从单点试点到全球多点推广。

模块化和可扩展

模块化 MES 系统具有灵活的模块，可以逐步部署，并随着业务的增长而扩展。

特定行业版本

为太阳能、电池、半导体和医疗设备等不同行业量身定制 MES/MOM 解决方案。

旗舰 LineWorks SPACE

作为 camLine MES 的基础，LineWorks SPACE 支持质量保证和先进的过程控制。

与 camLine 专家探讨解决方案

我们的团队随时准备为您提供量身定制的 MES 解决方案，以简化您的生产流程，提高产品质量，并最大限度地提高您的运营效率。利用 camLine 数十年来在数字化转型方面的专业知识，克服您在制造方面遇到的挑战。

与我们的专家交流