iCADA 套件

耐用品確保之智慧控制與分析

與專家交流

先進耐用品、光罩與探針卡管理之全方位解決方案

iCADA 套件提供先進解決方案，管理產品生命週期各階段耐用品、光罩及探針卡。 從使用、儲存、檢驗到維護，協助最佳化材料利用率、降低風險與確保生產品質。 憑藉即時追蹤、簡化工作流程及集中化存取功能，iCADA Suite 大幅提升效率，有效延長半導體製程關鍵資產使用壽命。

基於 iCADA Suite 開發之產品
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我們致力於協助您實現卓越製造。 聯絡 camLine

深受全球頂尖製造商信賴

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半導體製造光罩管理

倍縮光罩為微影製程中不可或缺關鍵光罩，專用於將電路圖案轉印至矽晶圓。 鑑於其關鍵作用與高昂成本，有效光罩管理對維持半導體晶圓廠生產品質與產能良率至關重要。

光罩管理之主要挑戰：

  • 搬運與儲存過程中防止污染、缺陷與損壞。
  • 定期檢查與清潔，管理因反覆使用而造成之光罩磨損。
  • 確保光罩正確使用與追蹤，避免生產錯誤。
  • 高效光罩追蹤與維護以降低成本。

智慧控制分析與耐用資產管理之模組化解決方案

iCADA 套件涵蓋核心資產完整生命週期，包括追蹤、檢驗、驗證與維護，確保半導體晶圓廠運作最佳化與嚴格製程管控。 其模組化設計賦予製造商根據生產需求進行調整與擴展，相關解決方案既能輕鬆整合至現有環境，更能支援長期業務成長。

iCADA RTCL

光罩生命週期管理

全面落實光罩生命週期管理，確保霧化控制並防止晶體生成。

iCADA INSP

光罩檢測管理

彙整與分析來自多機台設備與多來源之光罩檢測結果的集中化系統。 此為 iCADA RTCL 擴充模組。

iCADA PCRD

探針卡管理

管理探針卡與組件之集中式解決方案，支援高效維護與營運。

iCADA DRBL

耐用品管理

所有耐用品完整生命週期管理，確保最佳使用與維護。

與專家共同探討您的需求
iCADA 套件

功能亮點

  • 端到端全面可追溯性
  • 自動化檢測與分析
  • 智慧維護規劃
  • 光罩供應商連線 (MaVen)
  • 無縫整合
  • 可設定工作流程與商務規則
  • 成本控管之最佳化光罩利用
下載 iCADA Suite 產品規格書
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iCADA 套件

功能亮點

  • 端到端全面可追溯性
  • 自動化檢測與分析
  • 智慧維護規劃
  • 光罩供應商連線 (MaVen)
  • 無縫整合
  • 可設定工作流程與商務規則
  • 成本控管之最佳化光罩利用
下載 iCADA Suite 產品規格書

強化光罩管理之整合式解決方案

善用 iCADA Suite，半導體製造商得以落實全方位光罩生命週期管理（RLM）。 iCADA 現已成為 camLine 的一員，透過無縫整合 camLine 解決方案，協助您逐步擴展所需功能，為光罩、探針卡及耐用品管理，打造全面整合與自動化工作流程。

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  • 機台設備管理解決方案（LineWorks MMS），確保光罩檢測、維修與儲存高效利用，具備完整生命週期追溯與維護管控 。

  • 載具管理解決方案 （LineWorks CarMa），最佳化光罩盒與載具處理與追蹤流程，確保運輸與儲存安全性。

  • 運用先進監控與報表工具（LineWorks FACE），於光罩管理中落實數據資料驅動之決策。

  • 運用先進製程配方管理解決方案（LineWorks RM），管理製程配方與生產資源，並依據配方維護機台設備設定，確保光罩正確使用且無縫整合微影機台設備。

  • 善用供應商品質管理解決方案 （LineWorks SQM），與光罩供應商協同合作，藉由自動化驗證與溝通機制，確保進廠光罩品質。

  • 透過新一代物料控制系統(RACE MCS™) ，掌控物料流向並追蹤光罩運輸路徑—精確掌握其來源與去向。實現廠內產線即時協調，確保光罩派送與遞送無縫調度與交付。

camLine
全球領先 MES/MOM 解決方案供應商

妥善管理光罩、探針卡及耐用品，對確保產能良率與品質至關重要。 微小失誤或差錯皆可導致代價高昂生產問題。 導入 iCADA Suite，即可擁有保持領先之掌握全局洞察能見度。

產業

優化晶圓製造製程管控與可追溯性

管理複雜製程步驟、數以千計配方及龐大數據資料量，必須採取系統化執行方式，將設定錯誤和生產變異降至最低。 camLine 客製化 MES 解決方案，優化製程控制能力、提供即時洞察，確保完整追溯性，進而落實一次到位成果、靈活適應能力，以及業界持續領先地位。

探索半導體前端製程解決方案
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產業

優化晶圓製造製程管控與可追溯性

管理複雜製程步驟、數以千計配方及龐大數據資料量，必須採取系統化執行方式，將設定錯誤和生產變異降至最低。 camLine 客製化 MES 解決方案，優化製程控制能力、提供即時洞察，確保完整追溯性，進而落實一次到位成果、靈活適應能力，以及業界持續領先地位。

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與 camLine 專家共同探討解決方案

我們的團隊隨時準備好為您提供量身打造之製造執行系統（MES）解決方案，協助您簡化生產流程、提升產品品質，最大化整體營運效率。 善用 camLine 於數位轉型領域數十年專業經驗，協助克服您的製造挑戰。

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