SmartSPC 解決方案

半導體製造自動化製程調校批次（R2R）控制系統

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SmartSPC 實現營運卓越

SmartSPC，camLine 推出之整合式、模組化之自動化製程管控系統，專為強化高科技製造業批次間控制而設計。 結合 LineWorks SPACE 強大統計製程管控功能與 LineWorks RM 穩健配方管理系統，SmartSPC 自動化製程調校，確保無可比擬之精準度與一致性。 

探索 SmartSPC 核心組件
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深受全球頂尖製造商信賴

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克服高科技製造業製程控制挑戰

高科技製造業，特別是半導體領域，通常仰賴固定製程配方結合傳統統計製程管控。 人工介入與被動調整易導致回應延遲、廢品率增加，生產成效未達最佳狀態。

極高精確度與準確度於追求卓越製造而言，至關重要。 自動化製程管控已逐步成為提升效能、產能良率與靈活性不可或缺關鍵要素，廣泛運用於批次間、晶圓間、晶圓內與即時之製程管控策略。

自動化製程調校與控制系統

核心組件

SmartSPC 整合 LineWorks SPACE、LineWorks RM 及其他組件（例如進階運算選項 (ACO) 和製程配方物件 (ROBs)），落實製程調校自動化。 即時數據資料與先進演算技術，能優化製程參數，實現更快速、更精準調整。 其有助於獲得最佳化製程結果、維持產品品質一致，並提升產能與生產效率。

SmartSPC Landing Page_graphic_SmartSPC

SmartSPC 架構：核心組件

  • 效能卓越 SPC 工具，專為全面數據資料收集與進階運算而設計，高效處理量測、製程與控制器運算之數據資料結果。

    探索 LineWorks SPACE

  • 功能強大之配方管理，確保製程完整與精確參數控制。

    探索 LineWorks RM

  • LineWorks SPACE 關鍵組件，運用 先進數據資料運算 落實自動化流程調校與參數優化。

  • LineWorks RM 關鍵組件，即時擷取最佳化參數以進行配方調整。

  • RM 整合層 (RIL) 促進 LineWorks RM 與 LineWorks SPACE 穩健且無縫之整合，構成高效 R2R 控制迴路骨幹。

  • 製程、機台設備量測與即時數據資料交換之整合點。

智能三階段

SmartSPC 如何落實批次控制自動化

SmartSPC 智能三階段高效優化批次間（R2R）控制效能，藉由使用前批次生產所收集數據資料，大幅推進生產運行之自動化製程調校能力。

  • 建模：

    關鍵第一步，定義並設定優化控制所需關鍵核心製程參數與計算公式。

  • 即時數據資料收集：

    SmartSPC 運用LineWorks SPACE ACO 技術，收集精確生產數據資料，並將其應用於先前定義模型中。

  • 製程反饋：

    評估模型計算結果，判定生產成果是否符合預期目標，並於必要時進行即時調整。

深入了解 SmartSPC 部落格文章
智能三階段

SmartSPC 如何落實批次控制自動化

SmartSPC 智能三階段高效優化批次間（R2R）控制效能，藉由使用前批次生產所收集數據資料，大幅推進生產運行之自動化製程調校能力。

  • 建模：

    關鍵第一步，定義並設定優化控制所需關鍵核心製程參數與計算公式。

  • 即時數據資料收集：

    SmartSPC 運用LineWorks SPACE ACO 技術，收集精確生產數據資料，並將其應用於先前定義模型中。

  • 製程反饋：

    評估模型計算結果，判定生產成果是否符合預期目標，並於必要時進行即時調整。

深入了解 SmartSPC 部落格文章
SmartSPC Landing Page_graphic_R2R Control

SmartSPC 自動化製程調校關鍵優勢

傳統統計製程管控（SPC）主要側重於人工調整，以減少規格不符或異常產品與廢料；SmartSPC 則透過自動化即時調校，持續推動製程管控，進而落實品質管理革新。

營運精簡

整合 ACO 與 ROBs 進行自動化製程調校，有效確保最佳化生產成果。

最佳化配方管理

SmartSPC 提供可調整參數，無縫整合 LineWorks RM，系統隨時根據即時數據資料自動調整製程配方。

缺陷減少

極小化製程漂移與各批次間變異，以降低瑕疵率並提高產能良率。

品質提升

最佳化工具配方參數，確保每批產品均持續符合最高標準品質要求。

製程能力 (Cpk) 強化

即時微調維持製程穩定，將變異性降至最低，進而提升 Cpk 值。

共同討論解決方案

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我們的團隊隨時準備好為您提供量身打造之 MES/MOM 解決方案，協助您優化生產流程、提升產品品質，最大化整體營運效率。 善用 camLine 於數位轉型領域數十年專業經驗，協助克服您的製造挑戰。

先進技術能力

SmartSPC 專為應對現代化製造業複雜性而設計之穩健架構，提供首屈一指之靈活性與控制能力。

進階運算選項 (ACO)

LineWorks SPACE 之 ACO 進階功能包括：

  • 自動繪圖—根據定義之群體層級結構，建立頻道，自動繪製計算參數與中間參數圖表。
  • 透過應用程式介面 (API) 呼叫，利用對照邏輯擷取樣本數據資料。
  • 於 RMS 中擷取參數值或設備常數。

製程配方物件 (ROBs)

LineWorks RM 之 ROBs 提供以下關鍵功能：

  • 自動製程調校間，儲存運算所用之製程參數與設備常數值。
  • 定義 SmartSPC 調校參數與配置，設定 SmartSPC 運行方式。
  • 精準匹配對應之 SPC 頻道，落實精確製程管控。
camLine
全球領先 MES/MOM 解決方案供應商

SmartSPC 顯著提升製程能力 (Cpk)，驅動更穩定、高效且可預測之製造效能。

為何選擇 camLine MES/MOM 解決方案

作為您的合作夥伴，提供品質導向之 MES/MOM 解決方案，協助高科技產業將數據資料轉化為競爭優勢。

350+ 客戶群

深受全球各地超過 350 家高科技產業客戶信賴。 

服務遍及 40 多個國家

協助全球超過 40 個國家製造商實現成長與卓越。 

超過 35 年專業經驗

經實證之製造業軟體解決方案，從單一廠區試行計畫到全球多點之全方位佈署。 

模組化 & 可擴展性

模組化 MES 系統具備靈活模組，可分階佈署，並隨營運規模擴大而擴充。 

特定產業版本

專為太陽能、電池、半導體及醫療器材等不同產業，量身打造之 MES/MOM 解決方案。

旗艦產品 LineWorks SPACE

作為 camLine MES 核心，LineWorks SPACE 支援品質保證與先進製程管控。

與 camLine 專家共同探討解決方案

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